Terug Terug

TRAITEMENT PLASMA DE MATERIAUX ORGANOSILICIES EN MICROELECTRONIQUE APPLICATIONS EN LITHOGRAPHIE AVANCÉE ET COMME ISOLANT D'INTERCONNEXION

Name: TRAITEMENT PLASMA DE MATERIAUX ORGANOSILICIES EN MICROELECTRONIQUE
Author: Eon-D

Auteur: Eon-D

Taal: Frans

Afbeeldingen

Artikel vergelijken

Vergelijk met andere artikelen

Bekijk nu

Auteur: Eon-D Eon-D

Frans
Paperback
9786131537745
28 februari 2018
264 pagina's

Alle productspecificaties

Samenvatting

L'objet de cette etude est la gravure par plasma de materiaux hybrides SiOC(H). Leurs proprietes ajustables entre organiques et inorganiques leurs donnent de grandes potentialites. Ce travail est dedie a deux applications en microelectronique. 1)L'etude s'est portee sur des polymeres a base de Polyhedral oligomeric silsesquioxane appliquee a la lithographie optique. Les analyses ont ete particulierement poussees au moyens de mesures XPS et d'ellipsometrie. Ce travail a mis en evidence des effets de segregation en surface et a permis de developper un modele de la gravure en plasma oxydant. 2) Les materiaux SiOC(H) peuvent etre utilise comme isolant d'interconnexion grace a leur faible permittivite. Les plasmas fluorocarbones ont servi a obtenir une vitesse de gravure elevee et une grande selectivite avec le masque en SiC(H). Les caracterisations montrent que la composition du materiau est modifiee sur quelques nanometres, avec une diminution de la quantite de carbone et qu'une deuxieme couche fluorocarbonee s'y superpose. Des mesures du flux ionique et de la quantite de fluor atomique permettent de mieux apprehender les mecanismes de gravure qui regissent ces materiaux."

Productspecificaties

Inhoud

Taal: fr
Bindwijze: Paperback
Oorspronkelijke releasedatum: 28 februari 2018
Aantal pagina's: 264
Illustraties: Nee

Betrokkenen

Hoofdauteur: Eon-D
Tweede Auteur: Eon-D
Hoofduitgeverij: Omniscriptum

Overige kenmerken

Extra groot lettertype: Nee
Product breedte: 152 mm
Product hoogte: 15 mm
Product lengte: 229 mm
Studieboek: Nee
Verpakking breedte: 150 mm
Verpakking hoogte: 16 mm
Verpakking lengte: 220 mm
Verpakkingsgewicht: 409 g

EAN

EAN: 9786131537745

Je vindt dit artikel in

Categorieën: Technologie & Bouwkunde

Poëzie, Bloemlezingen & Letterkunde

Literatuurwetenschap

Communicatietechnologie

Energietechnologie

Electrotechniek

Elektrotechniek

Boeken
Taal: Frans
Studieboek of algemeen: Algemene boeken
Boek, ebook of luisterboek?: Boek

Reviews

Nog geen reviews

Hoe controleren en plaatsen wij reviews? Hoe controleren en plaatsen wij reviews?

Negatief, positief, neutraal: we zetten een review altijd online. We controleren wel eerst of ’ie voldoet aan onze reviewvoorwaarden en niet nep is. We controleren ook of ’ie is geschreven door iemand die het artikel heeft gekocht via bol.com en zetten dit er dan bij. De controles gebeuren automatisch, al kijken er soms mensen mee. Bol.com betaalt niet voor reviews. Als een reviewer door een andere partij is vergoed, staat dit in de review zelf.