Je leest ebooks gemakkelijk op je Kobo e-reader, of op je smartphone of tablet met de bol.com Kobo app. Let op! Ebooks kunnen niet geannuleerd of geretourneerd worden.
Samenvatting
This edited volume discusses atomic layer deposition (ALD) for all modern semiconductor devices, moving from the basic chemistry of ALD and modeling of ALD processes to sections on ALD for memories, logic devices, and machines. The section on ALD for memories covers both mass-produced memories, such as DRAM and Flash, and emerging memories, such as PCRAM and FeRAM. The section on ALD for logic devices covers both front-end of the line processes and back-end of the line processes. The final section on ALD for machines looks at toolsets and systems hardware. Each chapter provides the history, operating principles, and a full explanation of ALD processes for each device.
Productspecificaties
Wij vonden geen specificaties voor jouw zoekopdracht '{SEARCH}'.
Negatief, positief, neutraal: we zetten een review altijd online. We controleren wel eerst of ’ie voldoet aan onze reviewvoorwaarden en niet nep is. We controleren ook of ’ie is geschreven door iemand die het artikel heeft gekocht via bol.com en zetten dit er dan bij. De controles gebeuren automatisch, al kijken er soms mensen mee. Bol.com betaalt niet voor reviews. Als een reviewer door een andere partij is vergoed, staat dit in de review zelf.
Kies gewenste uitvoering
Bindwijze
: E-book
Prijsinformatie en bestellen
De prijs van dit product is 147 euro en 99 cent.147
99
Houd er rekening mee dat je downloadartikelen niet kunt annuleren of retourneren. Bij nog niet verschenen producten kun je tot de verschijningsdatum annuleren.
