Cambridge Studies in Semiconductor Physics and Microelectronic EngineeringSeries Number 7- Silicon Micromachining Series Number 7: Silicon Micromachining

Name: Cambridge Studies in Semiconductor Physics and Microelectronic EngineeringSeries Number 7- Silicon Micromachining
Author: M. Elwenspoek

Auteur: M. Elwenspoek

Taal: Engels

Afbeeldingen

Inkijkexemplaar

Artikel vergelijken

Vergelijk met andere artikelen

Bekijk nu

Uitgever: Cambridge University Press

Auteur: M. Elwenspoek H.V. Jansen

Co-auteur: M. Elwenspoek

Engels
Paperback
9780521607674
19 augustus 2004
420 pagina's

Alle productspecificaties

Samenvatting

This comprehensive book provides an overview of the key techniques used in the fabrication of micron-scale structures in silicon. Recent advances in these techniques have made it possible to create a new generation of microsystem devices, such as microsensors, accelerometers, micropumps, and miniature robots. The authors underpin the discussion of each technique with a brief review of the fundamental physical and chemical principles involved. They pay particular attention to methods such as isotropic and anisotropic wet chemical etching, wafer bonding, reactive ion etching, and surface micromachining. There is a special section on bulk micromachining, and the authors also discuss release mechanisms for movable microstructures. The book is a blend of detailed experimental and theoretical material, and will be of great interest to graduate students and researchers in electrical engineering and materials science whose work involves the study of micro-electromechanical systems (MEMS).

Productspecificaties

Inhoud

Taal: en
Bindwijze: Paperback
Oorspronkelijke releasedatum: 19 augustus 2004
Aantal pagina's: 420
Illustraties: Nee

Betrokkenen

Hoofdauteur: M. Elwenspoek
Tweede Auteur: H.V. Jansen
Co Auteur: M. Elwenspoek
Hoofdredacteur: Haroon Ahmad
Tweede Redacteur: Michael Pepper
Co Redacteur: Alec Broers
Hoofduitgeverij: Cambridge University Press

Overige kenmerken

Editie: New edition
Extra groot lettertype: Nee
Product breedte: 189 mm
Product hoogte: 22 mm
Product lengte: 247 mm
Verpakking breedte: 189 mm
Verpakking hoogte: 22 mm
Verpakking lengte: 247 mm
Verpakkingsgewicht: 773 g

EAN

EAN: 9780521607674

Je vindt dit artikel in

Categorieën: Technologie & Bouwkunde

Communicatietechnologie

Electrotechniek

Apparaten & Materialen

Boeken
Boek, ebook of luisterboek?: Boek
Taal: Engels
Beschikbaarheid: Leverbaar
Studieboek of algemeen: Studieboeken

Reviews

Nog geen reviews

Hoe controleren en plaatsen wij reviews? Hoe controleren en plaatsen wij reviews?

Negatief, positief, neutraal: we zetten een review altijd online. We controleren wel eerst of ’ie voldoet aan onze reviewvoorwaarden en niet nep is. We controleren ook of ’ie is geschreven door iemand die het artikel heeft gekocht via bol.com en zetten dit er dan bij. De controles gebeuren automatisch, al kijken er soms mensen mee. Bol.com betaalt niet voor reviews. Als een reviewer door een andere partij is vergoed, staat dit in de review zelf.