Micro and Nano Fabrication Tools and Processes

Name: Micro and Nano Fabrication
Author: Hans H. Gatzen

Auteur: Hans H. Gatzen

Taal: Engels

Afbeeldingen

Artikel vergelijken

Vergelijk met andere artikelen

Bekijk nu

Auteur: Hans H. Gatzen Volker Saile

Co-auteur: Jurg Leuthold

Engels
Hardcover
9783662443941
20 januari 2015
519 pagina's

Alle productspecificaties

Samenvatting

For Microelectromechanical Systems (MEMS) and Nanoelectromechanical Systems (NEMS) production, each product requires a unique process technology. Besides, it describes enabling technologies which are necessary for a successful production, i.e., wafer planarization and bonding, as well as contamination control.

For Microelectromechanical Systems (MEMS) and Nanoelectromechanical Systems (NEMS) production, each product requires a unique process technology. This book provides a comprehensive insight into the tools necessary for fabricating MEMS/NEMS and the process technologies applied. Besides, it describes enabling technologies which are necessary for a successful production, i.e., wafer planarization and bonding, as well as contamination control.

Productspecificaties

Inhoud

Taal: en
Bindwijze: Hardcover
Oorspronkelijke releasedatum: 20 januari 2015
Aantal pagina's: 519
Illustraties: Nee

Betrokkenen

Hoofdauteur: Hans H. Gatzen
Tweede Auteur: Volker Saile
Co Auteur: Jurg Leuthold
Hoofduitgeverij: Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. K

Overige kenmerken

Editie: 2015 ed.
Extra groot lettertype: Nee
Product breedte: 155 mm
Product lengte: 235 mm
Studieboek: Nee
Verpakking breedte: 155 mm
Verpakking hoogte: 235 mm
Verpakking lengte: 235 mm
Verpakkingsgewicht: 9398 g

EAN

EAN: 9783662443941

Je vindt dit artikel in

Categorieën: Technologie & Bouwkunde

Werktuigbouwkunde

Nanotechnologie

Technische vaardigheden

Boeken
Beschikbaarheid: Leverbaar
Taal: Engels
Boek, ebook of luisterboek?: Boek
Studieboek of algemeen: Studieboeken

Reviews

Nog geen reviews

Hoe controleren en plaatsen wij reviews? Hoe controleren en plaatsen wij reviews?

Negatief, positief, neutraal: we zetten een review altijd online. We controleren wel eerst of ’ie voldoet aan onze reviewvoorwaarden en niet nep is. We controleren ook of ’ie is geschreven door iemand die het artikel heeft gekocht via bol.com en zetten dit er dan bij. De controles gebeuren automatisch, al kijken er soms mensen mee. Bol.com betaalt niet voor reviews. Als een reviewer door een andere partij is vergoed, staat dit in de review zelf.