NanoScience and Technology- Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography

Afbeeldingen

Artikel vergelijken

  • Engels
  • Paperback
  • 9783030094553
  • 08 februari 2019
  • 138 pagina's
Alle productspecificaties

Samenvatting

This book discusses physical design and mask synthesis of directed self-assembly lithography (DSAL). It covers the basic background of DSAL technology, physical design optimizations such as placement and redundant via insertion, and DSAL mask synthesis as well as its verification.



This book discusses physical design and mask synthesis of directed self-assembly lithography (DSAL). It covers the basic background of DSAL technology, physical design optimizations such as placement and redundant via insertion, and DSAL mask synthesis as well as its verification. Directed self-assembly lithography (DSAL) is a highly promising patterning solution in sub-7nm technology.

Productspecificaties

Inhoud

Taal
en
Bindwijze
Paperback
Oorspronkelijke releasedatum
08 februari 2019
Aantal pagina's
138
Illustraties
Nee

Betrokkenen

Hoofdauteur
Seongbo Shim
Tweede Auteur
Youngsoo Shin

Overige kenmerken

Editie
Softcover reprint of the original 1st ed. 2018
Extra groot lettertype
Nee
Product breedte
155 mm
Product lengte
235 mm
Studieboek
Ja
Verpakking breedte
155 mm
Verpakking hoogte
235 mm
Verpakking lengte
235 mm
Verpakkingsgewicht
454 g

EAN

EAN
9783030094553
Nog geen reviews

Kies gewenste uitvoering

Prijsinformatie en bestellen

De prijs van dit product is 110 euro en 99 cent.
2 - 3 weken
Verkoop door bol
  • Prijs inclusief verzendkosten, verstuurd door bol
  • Ophalen bij een bol afhaalpunt mogelijk
  • 30 dagen bedenktijd en gratis retourneren
  • Dag en nacht klantenservice

Lijst met gekozen artikelen om te vergelijken

Vergelijk artikelen