Temperature Dependence of Actuated Membranes for RF Mems Switches Applications for thin film materials in a cryogenic environment

Name: Temperature Dependence of Actuated Membranes for RF Mems Switches
Author: Julien Noel

Auteur: Julien Noel

Taal: Engels

Afbeeldingen

Artikel vergelijken

Vergelijk met andere artikelen

Bekijk nu

Auteur: Julien Noel

Engels
Paperback
9783639080636
22 oktober 2008
88 pagina's

Alle productspecificaties

Samenvatting

Over the last 10 years, understanding of mechanical properties of thin film material has been essential for improving life-time operations of microelectromechanical systems (MEMS). Although, properties of bulk materials might be well characterized, thin-film properties are considerably different from those of the bulk. It cannot be assumed that mechanical properties using bulk specimens will apply to the same materials when used as a thin film. For many microelectronic thin films, material properties depend strongly on the details of the deposition processes and the growth conditions on its substrate. Temperature dependence of a MEMS switch gold thin film membrane on the pull down voltage as the temperature is varied from room temperature (300 K) to cryogenic temperature (10 K) is determined with RF MEMS shunt switches. The switch is composed of a gold coplanar waveguide structure with a gold bridge membrane suspended above an area of the center conductor which is covered by a dielectric (BaTiO3). The gold membrane is actuated by an electrostatic force acting between the transmission line and the membrane when a voltage is applied.

Productspecificaties

Inhoud

Taal: en
Bindwijze: Paperback
Oorspronkelijke releasedatum: 22 oktober 2008
Aantal pagina's: 88
Illustraties: Nee

Betrokkenen

Hoofdauteur: Julien Noel
Hoofduitgeverij: Vdm Verlag Dr. Mueller E.K.

Overige kenmerken

Extra groot lettertype: Nee
Product breedte: 152 mm
Product hoogte: 5 mm
Product lengte: 229 mm
Studieboek: Nee
Verpakking breedte: 152 mm
Verpakking hoogte: 5 mm
Verpakking lengte: 229 mm
Verpakkingsgewicht: 127 g

EAN

EAN: 9783639080636

Je vindt dit artikel in

Categorieën: Technologie & Bouwkunde

Boeken
Taal: Engels
Boek, ebook of luisterboek?: Boek
Beschikbaarheid: Leverbaar
Studieboek of algemeen: Algemene boeken

Reviews

Nog geen reviews

Hoe controleren en plaatsen wij reviews? Hoe controleren en plaatsen wij reviews?

Negatief, positief, neutraal: we zetten een review altijd online. We controleren wel eerst of ’ie voldoet aan onze reviewvoorwaarden en niet nep is. We controleren ook of ’ie is geschreven door iemand die het artikel heeft gekocht via bol.com en zetten dit er dan bij. De controles gebeuren automatisch, al kijken er soms mensen mee. Bol.com betaalt niet voor reviews. Als een reviewer door een andere partij is vergoed, staat dit in de review zelf.