Thin Membranes for Mems Packaging at Low T THIN ELECTROPLATED MEMBRANES FOR MEMS PACKAGING AT TEMPERATURES BELOW 200 ºC
Afbeeldingen
Sla de afbeeldingen overArtikel vergelijken
Auteur:
Raquel Helln Rico
Raquel Hellín Rico
- Engels
- Paperback
- 9783838347134
- 27 juni 2010
- 224 pagina's
Samenvatting
In recent years there has been an increasing demand for low-T packaging technologies to vacuum seal MEMS devices at the wafer level. When caps are fabricated using standard surface micromachining techniques, the need for wafer bonding alignment equipment is eliminated. This book presents the different processing steps of a new surface micromachining module for MEMS packaging at temperatures 180 C based on electroplating and resist sacrificial layers. Sacrificial etch holes are situated above the device allowing shorter release times. Analytical and FEA methods are used to understand, to predict and to optimise the mechanical response of the membrane. The sealing material is deposited by a selective deposition technique to avoid material where this is not desired. Sealing happens by fluxless reflow, giving the freedom of choosing P and atmosphere. The sealing layer is In because it allows a low thermal budget sealing process. The conditions that govern fluxless sealing are addressed and tailored. The thermal profile is one of the key variables that significantly impacts the wetting behaviour of liquid metal. The presented work represents the first time used sealing technique."
Productspecificaties
Wij vonden geen specificaties voor jouw zoekopdracht '{SEARCH}'.
Inhoud
- Taal
- en
- Bindwijze
- Paperback
- Oorspronkelijke releasedatum
- 27 juni 2010
- Aantal pagina's
- 224
- Illustraties
- Nee
Betrokkenen
- Hoofdauteur
- Raquel Helln Rico
- Tweede Auteur
- Raquel Hellín Rico
- Hoofduitgeverij
- Lap Lambert Academic Publishing
Overige kenmerken
- Extra groot lettertype
- Nee
- Product breedte
- 152 mm
- Product hoogte
- 13 mm
- Product lengte
- 229 mm
- Studieboek
- Ja
- Verpakking breedte
- 152 mm
- Verpakking hoogte
- 13 mm
- Verpakking lengte
- 229 mm
- Verpakkingsgewicht
- 336 g
EAN
- EAN
- 9783838347134
Je vindt dit artikel in
- Categorieën
- Taal
- Engels
- Boek, ebook of luisterboek?
- Boek
- Studieboek of algemeen
- Algemene boeken
- Beschikbaarheid
- Leverbaar
Kies gewenste uitvoering
Bindwijze
: Paperback
Prijsinformatie en bestellen
De prijs van dit product is 80 euro en 99 cent.
3 - 4 weken
Verkoop door bol
- Prijs inclusief verzendkosten, verstuurd door bol
- Ophalen bij een bol afhaalpunt mogelijk
- 30 dagen bedenktijd en gratis retourneren
- Dag en nacht klantenservice
Rapporteer dit artikel
Je wilt melding doen van illegale inhoud over dit artikel:
- Ik wil melding doen als klant
- Ik wil melding doen als autoriteit of trusted flagger
- Ik wil melding doen als partner
- Ik wil melding doen als merkhouder
Geen klant, autoriteit, trusted flagger, merkhouder of partner? Gebruik dan onderstaande link om melding te doen.