Transmission Electron Microscopy in Micro-nanoelectronics Ebook Tooltip

Afbeeldingen

Inkijkexemplaar

Artikel vergelijken

  • Engels
  • E-book
  • 9781118579053
  • 29 januari 2013
  • Adobe ePub
Alle productspecificaties
  • Je leest ebooks gemakkelijk op je Kobo e-reader, of op je smartphone of tablet met de bol.com Kobo app. Let op! Ebooks kunnen niet geannuleerd of geretourneerd worden.

Samenvatting

Today, the availability of bright and highly coherent electron sources and sensitive detectors has radically changed the type and quality of the information which can be obtained by transmission electron microscopy (TEM). TEMs are now present in large numbers not only in academia, but also in industrial research centers and fabs.
This book presents in a simple and practical way the new quantitative techniques based on TEM which have recently been invented or developed to address most of the main challenging issues scientists and process engineers have to face to develop or optimize semiconductor layers and devices. Several of these techniques are based on electron holography; others take advantage of the possibility of focusing intense beams within nanoprobes. Strain measurements and mappings, dopant activation and segregation, interfacial reactions at the nanoscale, defect identification and specimen preparation by FIB are among the topics presented in this book. After a brief presentation of the underlying theory, each technique is illustrated through examples from the lab or fab.

Productspecificaties

Inhoud

Taal
en
Bindwijze
E-book
Oorspronkelijke releasedatum
29 januari 2013
Ebook Formaat
Adobe ePub
Illustraties
Nee

Betrokkenen

Hoofdauteur
Alain Claverie
Tweede Auteur
Alain Claverie
Hoofduitgeverij
Wiley-Iste

Lees mogelijkheden

Lees dit ebook op
Android (smartphone en tablet) | Kobo e-reader | Desktop (Mac en Windows) | iOS (smartphone en tablet) | Windows (smartphone en tablet)

Overige kenmerken

Editie
1
Studieboek
Nee

EAN

EAN
9781118579053

Je vindt dit artikel in

Taal
Engels
Beschikbaarheid
Leverbaar
Boek, ebook of luisterboek?
Ebook
Studieboek of algemeen
Algemene boeken
Nog geen reviews

Kies gewenste uitvoering

Bindwijze : E-book

Prijsinformatie en bestellen

De prijs van dit product is 140 euro en 99 cent.
Direct beschikbaar
Verkoop door bol
  • E-book is direct beschikbaar na aankoop
  • E-books lezen is voordelig
  • Dag en nacht klantenservice
  • Veilig betalen
Houd er rekening mee dat je downloadartikelen niet kunt annuleren of retourneren. Bij nog niet verschenen producten kun je tot de verschijningsdatum annuleren.
Zie ook de retourvoorwaarden